全新光电选择LayTec原位测量技术加强VCSEL制造

据麦姆斯咨询报导，中国台湾显代工厂VisualPhotonicsEpitaxyCoLtd（VPEC，全新光电）近日宣告为其VCSEL（横向腔面升空激光器）生产引入了德国柏林厂商LayTec的原位测量产品。LayTec的EpiTT／VCSEL还包括两个光纤测量头：一个用作标准EpiTT，另一个用作光谱反射率传感（R－VCSEL）。两个光纤测量头均可通过EpiCurve?测量头上的桥接法兰展开相连EpiCurve?／VCSEL系统，该项设置可同时构建原始的EpiCurve?TT性能和DBR（分布式布拉格反射镜）阻带和腔倾角方位的频谱监测功能。这款四合一计量工具加装于Aixtron?G3行星式反应器顶部。

EpiTT／VCSEL和EpiCurve?TT／VCSEL由新型软件模块供电，可实现单阱和多阱运营。为了反对全球3D传感和其它快速增长的应用于对VCSEL芯片的市场需求，LayTec将VCSELAdd－On用作其EpiTT和EpiCurveTT系统，获取了额外的原位光谱反射率传感，并可在GaAs基和InP基近红外／红外（NIR／IR）VCSEL工艺波长范围内展开自定义，构建这类高度简单的多层结构器件的低良率生产。VCSELAdd－On也可作为现有EpiTT或EpiCurveTT系统的升级版本。凭借配有先进设备的动态分析算法，除了EpiTT的晶圆温度和生长速率监测，以及EpiCurveTT的晶圆倾斜测量外，它还需要在VCSEL外延过程中监测DBR（分布式布拉格反射镜）阻带和腔倾角方位。

苹果iPhoneX红外图形投影器中的VCSEL芯片来源：《苹果iPhoneX红外图形投影器》“VPEC为VCSEL晶圆生产自由选择了LayTec市场领先的原位测量技术，作为构建我们高标准的品质和良率的基本要素，”VPEC高级副总裁NeilChen评价说道，“将现有的晶圆温度、晶圆倾斜和生长速率掌控，融合新的频谱监测性能，是VCSEL代工厂工艺移往、较慢调整配方和不断扩大规模的关键。

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